T/CNIA 0061-2020
Определение содержания примесей в тетрахлориде кремния для эпитаксии кремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/CNIA 0061-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/CNIA 0061-2020

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает методы определения бора, натрия, магния, алюминия, калия, кальция, фосфора, титана, ванадия, хрома, марганца, железа. Методы определения содержания кобальта, никеля, меди, цинка, галлия, мышьяка и элементов свинца. . Настоящий стандарт распространяется на бор, натрий, магний, алюминий, калий, кальций, фосфор, титан, ванадий, хром, марганец, железо, кобальт, никель, медь, цинк, галлий, мышьяк и свинец в тетрахлориде кремния для эпитаксии кремния. Определение содержания . Нижний предел определения каждого элемента составляет 0,01 нг/г.

T/CNIA 0061-2020 История

• 2020 T/CNIA 0061-2020 Определение содержания примесей в тетрахлориде кремния для эпитаксии кремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой