Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование, хранение, сертификат качества и содержание заказа (или контракта) на покрытие из карбида кремния, наносимое из паровой фазы (далее - покрытие из карбида кремния). Настоящий стандарт распространяется на покрытия из карбида кремния, полученные осаждением из паровой фазы с использованием метилтрихлорсилана и водорода в качестве основного сырья. Продукты в основном используются на поверхности графитовых материалов в фотоэлектрической области.
T/CNIA 0011-2019 История
2019T/CNIA 0011-2019 Покрытие SiC методом осаждения из паровой фазы