Настоящий стандарт устанавливает метод определения содержания бора, фосфора, железа, алюминия, кальция и титана в порошке кремния, используемом для производства поликристаллического кремния. Настоящий стандарт распространяется на определение содержания бора, фосфора, железа, алюминия, кальция и титана в порошке кремния для производства поликристаллического кремния.
T/CNIA 0012-2019 История
2019T/CNIA 0012-2019 Определение содержания бора, фосфора, железа, алюминия, кальция, титана в порошке кремния - атомно-эмиссионная спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой