Настоящий документ определяет технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение триметоксисилана. Этот документ применим к синтезу металлического кремния, метанола и триметоксисилана, полученных алкоголизом трихлорсилана и метанола.Этот продукт в основном используется для получения многих кремнийорганических соединений высокой чистоты.