UNE-EN 62047-12:2011
Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытания тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур (одобрено AENOR в феврале 2012 г.)

Стандартный №

UNE-EN 62047-12:2011

Дата публикации

2012

Разместил

ES-UNE

Последняя версия

UNE-EN 62047-12:2011

UNE-EN 62047-12:2011 История

• 2012 UNE-EN 62047-12:2011 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытания тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур (одобрено AENOR в феврале 2012 г.)