DB53/T 501-2013
Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой для определения содержания примесных элементов трихлорсилана в поликремнии (Англоязычная версия)

Стандартный №

DB53/T 501-2013

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2013

Разместил

Yunnan Provincial Standard of the People's Republic of China

Последняя версия

DB53/T 501-2013

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает метод определения примесных элементов бора, железа, алюминия, кальция, меди, хрома, никеля, сурьмы, кобальта, цинка, олова, титана и марганца в трихлоркремнии для поликремния методом масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Настоящий стандарт распространяется на определение примесных элементов бора, железа, алюминия, кальция, меди, хрома, никеля, сурьмы, кобальта, цинка, олова, титана и марганца в трихлоркремнии для производства поликремния усовершенствованным методом Сименса.

DB53/T 501-2013 История

• 2013 DB53/T 501-2013 Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой для определения содержания примесных элементов трихлорсилана в поликремнии