NF EN ISO 25178-604:2013
Геометрические характеристики изделия (GPS). Чистота поверхности: площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных (сканирующая когерентная интерферометрия) приборов.

Стандартный №

NF EN ISO 25178-604:2013

Дата публикации

2013

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF EN ISO 25178-604:2013

NF EN ISO 25178-604:2013 История

• 2013 NF EN ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Чистота поверхности: площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных (сканирующая когерентная интерферометрия) приборов.