NF EN 62047-21:2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.

Стандартный №

NF EN 62047-21:2014

Дата публикации

2014

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF EN 62047-21:2014

NF EN 62047-21:2014 История

• 2014 NF EN 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.