В этом документе указаны технические требования, методы испытаний, правила проверки, маркировка, маркировка, упаковка, транспортировка, хранение и требования безопасности для смеси водорода и неона с концентрацией 100 ppm для интегральных схем. Настоящий документ применим к газовой смеси водорода и неона с концентрацией 100 ppm для интегральных схем (далее называемой водород/неон с концентрацией 100 ppm).Смеси водорода и неона с другими пропорциями компонентов могут быть использованы в качестве эталона.
T/CHBAS 36-2023 История
2023T/CHBAS 36-2023 Газовая смесь для интегральных схем 100 ppm водород/неон