1Общие принципы 2Терминология 3Проектирование 3.1Общие положения 3.2Принципы планировки 4Основные требования к цехам чистого производства 4.1Общие положения 4.2Экологический контроль и защита от статического электричества, заземление 4.3Потенциальные экологические риски Факторы и анализ ущерба 4.4 Показатели экологического мониторинга цеха чистого производства 5 Состав системы мониторинга цеха чистого производства 5.1 Система управления и мониторинга 5.2 Система обслуживания синхронизации данных 5.3 Система обработки данных 5.4 Система сбора данных и дистанционного управления 5.5 Система связи 5.6 Описание расширения системы 6 Приборы, оборудование и терминалы 6.1 Приборы, оборудование и состав терминалов мониторинга 6.2 Требования к оборудованию шлюза и терминала мониторинга 6.3 Основные требования к терминальному оборудованию экологического мониторинга в цехах чистого производства 7 Основы конструкции и монтажа Требования 8 Отладка системы 9 Приемка завершения 10 Техническое обслуживание и ремонт 10.1 Процедуры резервного копирования данных мониторинга 10.2 Регулярное техническое обслуживание и система калибровки для оборудования онлайн-мониторинга 10.3 Улучшение записей технического обслуживания Формулировка этой процедуры Приложение A Классификация чистоты Справочная таблица Приложение B Онлайн Мониторинг математической статистики и таблицы анализа
T/SZCA 2-2021 История
2021T/SZCA 2-2021 Техническая спецификация для онлайн-мониторинга чистых помещений