T/NXCL 016-2022
Монокристаллическая полированная пластина кремния Чохральского диаметром 200 мм, сильно легированная сурьмой (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/NXCL 016-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/NXCL 016-2022

сфера применения

Настоящий документ определяет классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, спецификации контроля и маркировку, упаковку, транспортировку, содержание, такое как хранение, содержание формы заказа (или контракта) и качество обязательства. Технические требования включают сырье, физические свойства, химический состав, геометрические параметры, окислительные дефекты, качество поверхности, профиль кромки и т. д. Методы испытаний включают тип проводимости, удельное сопротивление, изменение удельного сопротивления, межузельное содержание кислорода, радиальное содержание кислорода, содержание углерода, содержание поверхностного металла, содержание металла (железа) в корпусе, ориентацию кристаллов по диаметру и отклонение ориентации кристаллов, изменения толщины и общей толщины, измерение или проверку. методы измерения кривизны, коробления, плоскостности и локальной плоскостности, дефектов, вызванных окислением, качества поверхности, локальных светорассеивателей (загрязнение мельчайшими частицами) и измерения профиля кромки. Правила проверки делятся на заводскую проверку и типовую проверку.

T/NXCL 016-2022 История

• 2022 T/NXCL 016-2022 Монокристаллическая полированная пластина кремния Чохральского диаметром 200 мм, сильно легированная сурьмой