GB/T 42271-2022 Метод определения удельного сопротивления полуизолирующего монокристаллического карбида кремния бесконтактным измерением (Англоязычная версия)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 42271-2022
сфера применения
В этом документе описан метод бесконтактного измерения удельного сопротивления полуизолирующих монокристаллов карбида кремния. Настоящий документ распространяется на измерения полуизолирующих одиночных пластин карбида кремния с удельным сопротивлением в диапазоне от 1×105 Ом·см до 1×1012 Ом·см.
GB/T 42271-2022 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения