Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила проверки, упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и информацию о безопасности триметилалюминия. Настоящий стандарт распространяется на готовый триметилалюминий, полученный путем дистилляции и очистки с использованием триметилалюминия промышленного качества в качестве сырья. Этот продукт в основном используется в процессе атомно-слоевого осаждения из паровой фазы.