SJ/T 11761-2020
Спецификация портов загрузки полупроводникового оборудования для пластин диаметром 200 мм и ниже (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11761-2020

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2020

Разместил

工业和信息化部

Последняя версия

SJ/T 11761-2020

SJ/T 11761-2020 История

• 2020 SJ/T 11761-2020 Спецификация портов загрузки полупроводникового оборудования для пластин диаметром 200 мм и ниже