UNE-EN 62047-22:2014 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках (одобрено AENOR в ноябре 2014 г.).
2014UNE-EN 62047-22:2014 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках (одобрено AENOR в ноябре 2014 г.).