BS ISO 21859:2019
Тонкая керамика (современная керамика, современная техническая керамика). Метод испытания плазменной стойкости керамических компонентов оборудования для производства полупроводников
- Стандартный №
- BS ISO 21859:2019
- Дата публикации
- 2019
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS ISO 21859:2019
- сфера применения
- Что такое ISO 21859 — Плазмостойкость керамических компонентов? ISO 21859 — это международный стандарт на тонкую керамику, который охватывает метод испытаний плазменной стойкости керамических компонентов в оборудовании для производства полупроводников. ISO 21859 определяет метод испытания плазменной стойкости керамических компонентов оборудования для производства полупроводников. Он применим к керамическим компонентам плазменно-стойких компонентов в камерах сухого травления, используемых в производстве полупроводников. Для кого предназначен стандарт ISO 21859 — Плазмостойкость керамических компонентов? ...
BS ISO 21859:2019 История
- 2019 BS ISO 21859:2019 Тонкая керамика (современная керамика, современная техническая керамика). Метод испытания плазменной стойкости керамических компонентов оборудования для производства полупроводников
