SJ/T 31100-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки машин ионно-лучевого травления (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31100-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1994

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 31100-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, методы проверки и оценки машин ионно-лучевого травления, используемых в производстве полупроводниковых приборов. Настоящий стандарт распространяется на машины ионно-лучевого травления, используемые при производстве и научных исследованиях электронной продукции.

SJ/T 31100-1994 История

• 1994 SJ/T 31100-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки машин ионно-лучевого травления