SJ/T 31120-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования маски KSM-MJB3 (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31120-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 31120-1994

сфера применения

Настоящий стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки экспонирующей машины для выравнивания масок KSM-MJB3; Этот стандарт применим к немецкой экспонирующей машине KSM-MJB3; он также применим к немецким маскам KSM, MA56 и американским CA800. экспонирующая машина.

SJ/T 31120-1994 История

• 1970 SJ/T 31120-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования маски KSM-MJB3