Настоящий стандарт определяет ряд основных параметров оборудования для нанесения покрытий методом испарения. Настоящий стандарт распространяется на оборудование для нанесения испарительного покрытия колокольного и коробчатого типа с предельным давлением в диапазоне 3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a).
SJ/T 11131-1997 История
1997SJ/T 11131-1997 Серия основных параметров оборудования для нанесения покрытия испарением