SJ 20636-1997
Метод определения содержания кислорода и углерода в тонкой кремниевой пластине большого диаметра в микрозоне для использования в ИС (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ 20636-1997

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1997

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ 20636-1997

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения радиального распределения содержания межузельного кислорода в микрообластях и содержания замещающего углерода в кремниевых пластинах толщиной от 0,3 до 2,0 мм. Настоящий стандарт применим для определения радиального распределения содержания межузельного кислорода и микрообластей содержания замещенного углерода в кремниевых пластинах с удельным сопротивлением при комнатной температуре более 0,1 Ом·см. Диапазон измерения. Для интерстициального содержания кислорода составляет 3,0×10^(16)ат. см^(-3) до максимальной растворимости межузельного кислорода в кремнии в твердом состоянии, для замещенного углерода содержание - 5,0×10^(15)ат. см^(-3) до максимальной растворимости замещенного углерода в кремнии в твердом состоянии.

SJ 20636-1997 История

• 1997 SJ 20636-1997 Метод определения содержания кислорода и углерода в тонкой кремниевой пластине большого диаметра в микрозоне для использования в ИС