SJ/T 31121-1994
Требования готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования масок JB-VⅡ (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31121-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 31121-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки экспонирующей машины для выравнивания маски JB-VⅡ. Настоящий стандарт применяется только к машинам для экспонирования с выравниванием маски типа B-VⅡ и машинам для экспонирования с выравниванием маски типа JB-IV, JB-VH, JB-Ⅲ.

SJ/T 31121-1994 История

• 1970 SJ/T 31121-1994 Требования готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования масок JB-VⅡ