Настоящий стандарт определяет общие требования и методы испытаний экспонирующих машин для выравнивания маски. Настоящий стандарт распространяется на машины контактного и бесконтактного воздействия.
SJ/T 10274-1991 История
1991SJ/T 10274-1991 Методы испытаний системы выравнивания и экспонирования маски