Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки для устройств обратного осмоса, используемых в оборудовании для производства воды электронного качества для производства компонентов в электронной промышленности. Настоящий стандарт применим к устройствам обратного осмоса, изготовленным с использованием воды электронного качества в электронных компонентах, производстве интегральных схем и процессах очистки на предприятиях электронной промышленности.
SJ/T 31455-1994 История
1970SJ/T 31455-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки установок обратного осмоса