Настоящий стандарт применим для определения точки росы по следам влаги в газах, используемых в процессах электронной промышленности, таких как водород, азот, кислород, аргон, гелий, сжатый воздух, фосфин, боран, гексафторид серы и т. д. Диапазон измерения составляет 0∽90. °С.
SJ 2799-1987 История
1987SJ 2799-1987 Метод определения следов воды в газах электронной чистоты. Метод точки росы.