SJ 2758-1987
Метод измерения инфракрасной интерференцией толщины гомоэпитаксиальных слоев (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ 2758-1987
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1987
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- состояние
- 2010-02
- Последняя версия
- SJ 2758-1987
- сфера применения
- Этот стандарт применим для измерения толщины эпитаксиальных слоев того же типа, что и подложка.Удельное сопротивление подложки и эпитаксиального слоя при комнатной температуре должно быть менее 0,02 Ом·см и более 0,1 Ом·см соответственно, а измеряемая толщина превышает 2 мкм.
SJ 2758-1987 История
- 1987 SJ 2758-1987 Метод измерения инфракрасной интерференцией толщины гомоэпитаксиальных слоев
