SJ/T 31064-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки полировальных машин типа 3800 (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31064-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 31064-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, методы проверки и оценки полировальной машины типа 3800. Настоящий стандарт распространяется на машины для обработки и полировки пластин при производстве полупроводниковых приборов.

SJ/T 31064-1994 История

• 1970 SJ/T 31064-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки полировальных машин типа 3800