Настоящий стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки центробежной сушилки РД-4500. Настоящий стандарт распространяется на центробежную сушилку РД-4500. Центробежные сушилки аналогичной конструкции, используемые при производстве других полупроводниковых приборов и интегральных схем, также могут быть реализованы в качестве эталона.
SJ/T 31062-1994 История
1970SJ/T 31062-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки гидроэкстракторов РД4500