Эта спецификация определяет требования, правила обеспечения качества и подготовку к поставке радиационно-стойких кремниевых монокристаллических полированных пластин для военных КМОП-схем. Настоящая спецификация применима к полированным пластинам монокристаллического кремния радиационной стойкости диаметром 50,8 мм, 76,2 мм и 100 мм для военных КМОП-схем.
SJ 20750-1999 История
1970SJ 20750-1999 Спецификация на радиационно-стойкие монокристаллические кремниевые пластины для военных КМОП-интегральных схем