Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки диффузионной печи для микрокомпьютера типа ASM. Настоящий стандарт распространяется на микрокомпьютерную диффузионную печь типа ASM. Другие типы диффузионных печей для микрокомпьютеров также могут быть реализованы по ссылке.
SJ/T 31132-1994 История
1970SJ/T 31132-1994 Требования к готовности и методы контроля и оценки диффузионных печей с микрокомпьютерным управлением АСМ