SJ/T 10627-1995
Методы испытаний для определения характеристик осаждения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 10627-1995

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1995

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 10627-1995

сфера применения

Настоящий стандарт распространяется на сопротивление при комнатной температуре более 0,1 Ом. См. Кремниевая пластина Чохральского N-типа или P-типа, ее термический цикл может быть однотемпературным или двухтемпературным.

SJ/T 10627-1995 История

• 1995 SJ/T 10627-1995 Методы испытаний для определения характеристик осаждения кислорода кремниевых пластин путем измерения межузельного восстановления кислорода