Настоящий стандарт применим к общим принципам методов эмиссионного спектрального анализа полупроводниковых материалов, таких как германий, кремний, арсенид галлия, фосфид индия и антимонид индия. Его содержание включает основные принципы, инструменты, приготовление стандартного раствора, методы обработки проб и спектральные условия. .отбор и соответствующие общие положения.
SJ/Z 3206.13-1989 История
1989SJ/Z 3206.13-1989 Общие правила анализа спектра излучения полупроводниковых материалов