SJ/T 31119-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования масок (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31119-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 31119-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки экспонирующих машин для выравнивания маски. Настоящий стандарт распространяется на машины для контактного воздействия и экспонирования с выравниванием маски, имеющие функции как контактного воздействия, так и воздействия с близкого расстояния.

SJ/T 31119-1994 История

• 1970 SJ/T 31119-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки систем выравнивания и экспонирования масок