Настоящий стандарт определяет метод испытаний для измерения глубоких уровней в полупроводниковых материалах методом переходной спектроскопии глубоких уровней (DLTS) в методе переходной емкости. Этот стандарт применим для измерения глубоких уровней энергии, генерируемых примесями и дефектами полупроводниковых материалов, таких как кремний и арсенид галлия, в запрещенной зоне полупроводников. С помощью этого метода можно получить такие параметры, как энергия активации, концентрация и предэкспоненциальный коэффициент A глубокого энергетического уровня. Этот стандарт применяется к глубоким уровням энергии, связанным с генерацией экспоненциальных емкостных переходных процессов.
SJ/T 10482-1994 История
1994SJ/T 10482-1994 Метод испытаний для определения характеристик глубоких уровней полупроводников методами переходной емкости