SJ/T 10312-1992
Общие характеристики системы воздействия электронным лучом (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 10312-1992

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1992

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 10312-1992

сфера применения

Этот стандарт определяет терминологию, технические требования, методы испытаний, правила проверки и т. д. машин для воздействия электронным лучом. Настоящий стандарт распространяется на машины для экспонирования электронным лучом для создания тонких узоров, таких как интегральные схемы, микроволновые устройства, оптоэлектронные устройства и устройства на поверхностных акустических волнах.

SJ/T 10312-1992 История

• 1992 SJ/T 10312-1992 Общие характеристики системы воздействия электронным лучом