SJ/T 10311-1992
Общая спецификация системы осаждения химикатов из паровой фазы под низким давлением (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 10311-1992

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1992

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 10311-1992

сфера применения

Настоящий стандарт распространяется на проектирование, производство и технологическое применение оборудования для химического осаждения из паровой фазы с горизонтальными стенками и низким давлением. Также следует учитывать разработку других видов оборудования LPCVD.

SJ/T 10311-1992 История

• 1992 SJ/T 10311-1992 Общая спецификация системы осаждения химикатов из паровой фазы под низким давлением