SJ/T 10481-1994
Метод определения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев кремния трехзондовым методом площадных контактов (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 10481-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1994

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 10481-1994

сфера применения

Настоящий стандарт определяет поверхностно-контактный трехзондовый метод определения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев кремния. Настоящий стандарт применим для измерения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев кремния типа N/N^(+) или P/P^(+) размером 0,06–60 см.

SJ/T 10481-1994 История

• 1994 SJ/T 10481-1994 Метод определения удельного сопротивления эпитаксиальных слоев кремния трехзондовым методом площадных контактов