SJ/T 31069-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки машин плазменного рафинирования ПРС-801 (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31069-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 31069-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки машин плазменного склеивания, используемых при производстве интегральных схем полупроводниковых устройств. Настоящий стандарт распространяется на плазменный удалитель клея PRS-801.

SJ/T 31069-1994 История

• 1970 SJ/T 31069-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки машин плазменного рафинирования ПРС-801