SJ/T 31068-1994
Требования к готовности и методы проверки и оценки аппаратов ионной имплантации (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 31068-1994

язык

Китайский, Доступно на английском

Разместил

Professional Standard - Electron

состояние

снять со счета 2010-02

Последняя версия

SJ/T 31068-1994

сфера применения

Этот стандарт определяет требования к целостности, а также методы проверки и оценки для электроионного имплантатора LC-2F и ионного имплантатора 200MC-A. Настоящий стандарт распространяется на устройства ионной имплантации, используемые при производстве интегральных схем для полупроводниковых приборов.

SJ/T 31068-1994 История

• 1970 SJ/T 31068-1994 Требования к готовности и методы проверки и оценки аппаратов ионной имплантации