SJ 20744-1999 Общие правила спектрального анализа инфракрасного поглощения на концентрацию примесей в полупроводниковых материалах (Англоязычная версия)
Настоящий стандарт определяет терминологию, основные принципы, приборы и оборудование, подготовку проб, условия измерений, процедуры измерений и расчет результатов измерений для методов инфракрасного абсорбционного анализа содержания примесей в полупроводниковых материалах. Настоящий стандарт применим к методу инфракрасного анализа любого полупроводникового монокристаллического материала, прозрачного в инфракрасной области спектра и создающего полосы поглощения примесей в этой области.
SJ 20744-1999 История
1999SJ 20744-1999 Общие правила спектрального анализа инфракрасного поглощения на концентрацию примесей в полупроводниковых материалах