Настоящий стандарт определяет метод рентгеновской дифракции двойных кристаллов для неповрежденного слоя полированных пластин арсенида галлия. Настоящий стандарт распространяется на качественное измерение подповрежденного слоя пластин арсенида галлия, химически и механически отполированных с одной и с обеих сторон.
SJ 20714-1998 История
1998SJ 20714-1998 Метод испытания подповерхностных повреждений полированной пластины арсенида галлия методом двойной рентгеновской дифракции