SJ 20711-1998
Общие спецификации для систем пошагового и повторного воздействия (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ 20711-1998

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1998

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ 20711-1998

сфера применения

Этот стандарт определяет классификацию, требования, правила обеспечения качества и подготовку к поставке машин для пошагового проекционного экспонирования. Настоящий стандарт применяется к микролитографическому оборудованию для сверхбольших интегральных схем (СБИС), интегральных микросхем специального назначения (ASIC) и других устройств. Другие типы экспонирующих машин также могут быть использованы по ссылке.

SJ 20711-1998 История

• 1998 SJ 20711-1998 Общие спецификации для систем пошагового и повторного воздействия