SJ 3244.2-1989
Методы измерения несоответствия кристаллических решеток подложки из арсенида галлия и фосфида индия и протяженного слоя гетероперехода (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ 3244.2-1989
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1989
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- состояние
- 2010-02
- Последняя версия
- SJ 3244.2-1989
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет принцип измерения, процедуру и метод расчета рассогласования решеток между эпитаксиальным слоем гетероперехода и подложкой. Этот стандарт подходит для следующего диапазона: отклонение ориентации кристаллов на поверхности эпитаксиального слоя составляет менее 1,5^(·). Общая толщина многослойного эпитаксиального слоя не превышает 10 мкм.
SJ 3244.2-1989 История
- 1989 SJ 3244.2-1989 Методы измерения несоответствия кристаллических решеток подложки из арсенида галлия и фосфида индия и протяженного слоя гетероперехода
