Настоящий стандарт применим к определению следов азота в аргоне электронного качества. Когда объем впрыска составляет 3 м1, диапазон измерения составляет от 2 до 60 ppm.
SJ 3238-1989 История
1989SJ 3238-1989 Метод определения следов азота в аргоне электронной чистоты. Метод ионизационно-газовой хроматографии на аргоне.