Настоящий стандарт применим к определению следов кислорода в аргоне электронного качества. При объеме впрыска 3м1. Диапазон измерения составляет 0,2 ~ 10 ppm.
SJ 3237-1989 История
1989SJ 3237-1989 Метод определения следов кислорода в аргоне электронной чистоты. Метод ионизационно-газовой хроматографии аргона.