Настоящий стандарт определяет основные параметры, технические требования и методы испытаний систем измерения смещения линий решетки. Настоящий стандарт распространяется на измерительные системы с разрешением от 0,1 до 10 мкм.
JB/T 10030-1999 История
2012JB/T 10030-2012 Устройство измерения линейного перемещения решетки
1999JB/T 10030-1999 Система измерения линейного перемещения решетки