NF EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности соединения для МЭМС-структур.
2012NF EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности соединения для МЭМС-структур.