T/NXCL 017-2022
Монокристаллический полированный кремний Чохральского диаметром 300 мм, сильно легированный фосфором (Англоязычная версия)

Стандартный №

T/NXCL 017-2022

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2022

Разместил

Group Standards of the People's Republic of China

Последняя версия

T/NXCL 017-2022

сфера применения

       Настоящий документ определяет классификацию продукции, технические требования, методы испытаний, спецификации и знаки контроля, упаковку, транспортировку, содержание, такое как хранение, форму заказа (или контракта), содержание и качество обязательства. Технические требования включают сырье, физические свойства, химический состав, геометрические параметры, окислительные дефекты, качество поверхности, профиль кромки и т. д. Методы испытаний включают тип проводимости, удельное сопротивление, изменение удельного сопротивления, межузельное содержание кислорода, радиальное содержание кислорода, содержание углерода, содержание поверхностного металла, внутреннее содержание металла (железа), диаметр, ориентацию кристаллов и отклонение ориентации кристаллов, толщину и общую толщину. Методы измерения или проверки. для измерения отклонений, кривизны, коробления, плоскостности и локальной плоскостности, дефектов, вызванных окислением, качества поверхности, локальных светорассеивателей (загрязнение мелкими частицами) и измерения профиля кромки. Правила проверки делятся на заводскую проверку и типовую проверку.

T/NXCL 017-2022 История

• 2022 T/NXCL 017-2022 Монокристаллический полированный кремний Чохральского диаметром 300 мм, сильно легированный фосфором