Этот стандарт определяет соответствующую терминологию для технологии фотомаскирования микроэлектроники. Этот стандарт применяется к научным исследованиям, производству, обучению, торговле и техническому обмену технологиями светомаскировки пресс-форм.
SJ/T 10584-1994 История
1970SJ/T 10584-1994 Глоссарий методов фотомаскирования в микроэлектронике.