Настоящий стандарт определяет метод испытаний производительности ионного насоса распыления. Настоящий стандарт распространяется на ионные насосы со скоростью откачки более 10Ls(-1).
JB/T 2965-1992 История
1992JB/T 2965-1992 Метод испытания производительности ионного насоса распыления