SJ 3247-1989
Методы измерения толщины расширенного слоя однотипного арсенида галлия методом инфракрасной интерференции (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ 3247-1989
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1989
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- состояние
- 2010-02
- Последняя версия
- SJ 3247-1989
- сфера применения
- Этот стандарт определяет принципы, инструменты и оборудование, этапы подготовки образцов и измерений, расчет результатов и точность инфракрасного интерферометрического измерения толщины эпитаксиального слоя арсенида галлия того же типа, что и подложка. Настоящий стандарт применим для измерения толщины эпитаксиального слоя арсенида галлия того же типа, что и подложка.Удельное сопротивление подложки и эпитаксиального слоя при комнатной температуре должно быть менее 0,02 Ом·см и более 0,1 Ом·см соответственно. , а измеряемая толщина превышает 2 мкм.
SJ 3247-1989 История
- 1989 SJ 3247-1989 Методы измерения толщины расширенного слоя однотипного арсенида галлия методом инфракрасной интерференции
